壓力測量儀表按工作原理分為液柱式、彈性式、負(fù)荷式和電測式等類型。
(1) 液壓式壓力測量儀表
液壓式壓力測量儀表常稱為液柱式壓力計(jì),它是以一定高度的液柱所產(chǎn)生的壓力,與被測壓力相平衡的原理測量壓力的。大多是一根直的或彎成 U形的玻璃管,其中充以工作液體。常用的工作液體為蒸餾水、水銀和酒精。因玻璃管強(qiáng)度不高,并受讀數(shù)限制,因此所測壓力一般不超過0.3兆帕。
它的特點(diǎn)是:液柱式壓力計(jì)靈敏度高,因此主要用作實(shí)驗(yàn)室中的低壓基準(zhǔn)儀表,以校驗(yàn)工作用壓力測量儀表。由于工作液體的重度在環(huán)境溫度、重力加速度改變時(shí)會(huì)發(fā)生變化,對測量的結(jié)果常需要進(jìn)行溫度和重力加速度等方面的修正。
(2) 彈性式壓力測量儀表
彈性式壓力測量儀表是利用各種不同形狀的彈性元件,在壓力下產(chǎn)生變形的原理制成的壓力測量儀表。彈性式壓力測量儀表按采用的彈性元件不同,可分為彈簧管壓力表、膜片壓力表、膜盒壓力表和波紋管壓力表等;按功能不同分為指示式壓力表、電接點(diǎn)壓力表和遠(yuǎn)傳壓力表等。這類儀表的特點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡單,結(jié)實(shí)耐用,測量范圍寬,是壓力測量儀表中應(yīng)用最多的一種。
(3) 負(fù)荷式壓力測量儀表
負(fù)荷式壓力測量儀表常稱為負(fù)荷式壓力計(jì),它是直接按壓力的定義制作的,常見的有活塞式壓力計(jì)、浮球式壓力計(jì)和鐘罩式壓力計(jì)。由于活塞和砝碼均可加工和測量,因此這類壓力計(jì)的誤差很小,主要作為壓力基準(zhǔn)儀表使用,測量范圍從數(shù)十帕至2500兆帕。
(4) 電測式壓力測量儀表
電測式壓力測量儀表是利用金屬或半導(dǎo)體的物理特性,直接將壓力轉(zhuǎn)換為電壓、電流信號或頻率信號輸出,或是通過電阻應(yīng)變片等,將彈性體的形變轉(zhuǎn)換為電壓、電流信號輸出。代表性產(chǎn)品有壓電式、壓阻式、振頻式、電容式和應(yīng)變式等壓力傳感器所構(gòu)成的電測式壓力測量儀表。度可達(dá)0.02級,測量范圍從數(shù)十帕至700兆帕不等。
(5) 壓阻式壓力測量儀表
壓阻式壓力傳感器是利用半導(dǎo)體材料硅在受壓后,電阻率改變與所受壓力有一定關(guān)系的原理制做的。用集成電路工藝在單晶硅膜片的特定晶向上擴(kuò)散一組等值應(yīng)變電阻,將電阻接成電橋形式。當(dāng)壓力發(fā)生變化時(shí),單晶硅產(chǎn)生應(yīng)變,應(yīng)變使電阻值發(fā)生與被測壓力成比例的變化,電橋失去平衡,輸出一電壓信號至顯示儀表顯示。